Обхват на пътуване
20 мм
Резолюция
0,125 μm
Повторяемост
＜1μm
Прямост
＜2μm
Паралелизъм
＜5μm
Питчинг
10 инча（50 μrad）
люлеене
Максимална скорост
5 мм/сек
Товароносимост
10 кг
Тегло
1,5 кг
